单晶炉热屏的发展现状

在半导体硅单晶的制备中，大都是利用切克劳斯基（Czochralski）法来制备（简称CZ法），特别是目前太阳能级硅单品的生产中，几乎全部采用这种方法来制备硅单晶，以满足太阳能电池的需要。在目前全球常规能源短缺的情况下，太阳能光伏发电成为绿色再生能源的重要组成部分，得到各国政府的大力扶持和发展；与此同时，我国针对目前国内的高污染、高能耗工业现状，开展了大规模的节能降耗行动，硅材料领域也不例外。