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特气业与半导体业的发展近况 被引量:8

Recent Developments of The Specialty Gases And Semiconductor Industry
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摘要 首先综述了我国半导体产业近年发展概况,然后论述了特气相关行业的配套发展问题,同时也介绍了世界及我国知名气体企业的应对措施。 Summarized recent developments of the semiconductor industry in China, and then expounded the supporting measures for the specialty gases industry. Also introduced the reply measures of the well-known gas enterprise in the world and our country.
作者 林刚
出处 《低温与特气》 CAS 2009年第1期4-8,共5页 Low Temperature and Specialty Gases
关键词 半导体 晶圆 集成电路 特种气体 配套 semiconductor wafer IC specialty gas supporting
  • 相关文献

参考文献9

二级参考文献3

  • 1QUIRKM SERDAJ 韩郑生译.半导体制造技术[M].北京:电子工业出版社,2004..
  • 2GOLDSTEIN K,FITZPATRICK M.High purity gas system:Small leaks=big problems[J].Clean Rooms,2003,(5).
  • 3张洪雁.洁净厂房内气体管道的技术措施[J].洁净与空调技术,2002(3):38-45. 被引量:5

共引文献16

同被引文献41

引证文献8

二级引证文献29

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