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硅衬底上有序氮化铝纳米线阵列的生长

Growth of AlN Nanowire Arrays on Silicon Substrate
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摘要 在450℃反应温度下,利用无水三氯化铝与叠氮化钠在25mL的不锈钢反应釜中直接反应,成功地在硅片衬底上制备了六方单晶氮化铝(h—AlN)纳米线有序阵列。这些纳米线呈长直线状,粗细均匀,直径约为100nm,长度均在几个微米以上。所有纳米线生长方向一致,而且与硅片衬底垂直。经过分析,纳米线由气液固机制生长而成. Hexagonal aluminum nitride (h-AlN) uanowire arrays have been successfully synthesized on the silicon wafer substrate by directly reacting AkCl3 with NaN3 in stainless steel autoclave of 25ml capacity at the low temperature of 450℃ for 24 hours. The nanowires have long straight-wire morphology with a diameter some 100 nm and a length up to several micrometers. The growth direction of all nanowires is same and it is vertical to the substrate surface. After analysis, the growth mechanism for h-AlN nanowires is possibly VLS mechanism.
作者 吕惠民 谷力
出处 《纳米科技》 2009年第1期23-25,71,共4页
基金 陕西省教育厅科学研究计划项目(06JK2141,西安理工大学科研基金)108-210702)
关键词 六方单晶氮化铝 纳米线阵列 气液固机制 h-AlN nanowire arrays VLS mechanism
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