大型超精密平面度在线测量新方法被引量：7

New on-line measuring method for large and ultraprecise flatness

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摘要本文介绍了一种应用于大型超精密平面度在线测量与误差分离的新方法，这种方法综合了逐次递推分离方法速度快、处理简单和二维最小二乘分离方法结果精确的优点。仿真及实验验证了该方法的正确性。

作者葛根焰李圣怡吴明根

机构地区国防科技大学

出处《机械工艺师》 CSCD 1998年第6期19-21,共3页 Machinery Manufacturing Engineer

关键词超精密平面度在线检测误差分离平面度

同被引文献16

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机械工艺师

1998年第6期

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