铰链四杆单面抛光机构运动轨迹的仿真研究

针对解析法研究研磨轨迹存在建立数学方程烦琐,参数变化后需反复求解和重新模拟轨迹等问题,提出了采用虚拟样机技术研究轨迹的方法。以铰链四杆单面抛光机构为研究对象,运用ADAMS软件实现了晶片单面抛光的运动轨迹仿真。结果表明,使用虚拟样机技术能够快速、准确地获得铰链四杆单面抛光机构驱动下晶片质心的运动轨迹,并且轨迹形状主要由机构输入的运动参数决定。