显示器用塑料基板上形成光学膜的技术数字溅射新技术

1、前言 层叠折射率不同的电介体可以形成各种光学膜。有代表性的电介体是金属氧化物。近年来，在塑料基板上形成光学膜的需求在不断地增加，用于大屏幕纯平显示器和轻量小型手提仪器显示器等的需求也正在日益扩大。