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数理统计方法在IC大生产中的应用──试论工序能力指数与成品率的关系 被引量:2

The Application of Mathematic-Statistical Method in IC Mass Production──On the Relationship Between Processing Capability Index and Yield
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摘要 单道工序能力指数Cp和单道工序的成品率y是全面质量管理TQC(TotalQualityControl)的两个关键参数.本文利用余误差函数表和线性插值修正法计算了不同Cp的y值,并给出了对应表格,从而大大方便了数理统计方法在工业化大生产中的实际应用. Both processing capability index Cp and yield y in one step are key parameters in Total Quality Control(TQC). The function y of Cp is calculated by means of Co-error function table and linear interpolating correction in this paper, and a table of y-Cp is also given. It will he very convenient to apply mathematic-statistical method to industrial mass production.
作者 石林初
出处 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期125-128,共4页 Acta Electronica Sinica
关键词 工序能力指数 成品率 数理统计 IC 制造 Processing capability index, Yield, Mathematic-statistical method
  • 相关文献

参考文献10

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  • 7郑绍濂,概率与数理统计,1978年
  • 8王福保,概率论与数理统计,1962年
  • 9章渭基,质量管理中的数理统计方法
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