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一种用轮廓仪测量平面度误差的新方法

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摘要 本文介绍了一种在触针式轮廓仪上测量平面度误差的新方法。该法是将轮廓仪与微型机相连,既可对粗糙度参数进行数据处理和打印结果,又可测量高精度小尺寸的平面度、直线度误差。
作者 廖渝 李成贵
出处 《计量与测试技术》 1998年第3期3-4,共2页 Metrology & Measurement Technique
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