苑伟政 中国著名微机电系统专家

据了解，您自90年代初留法期间就开始了微机电系统（MEMS）的研究，回国后创建了“微机电系统与纳米技术”学科，在微机电系统方面做了大量的研究工作。首先请您简单谈一谈微机电系统目前的发展情况。