NANO—TM500超精密纳米级精度车铣复合机床

NANO—TM500超精密纳米级精度车铣复合机床，切削加工的最大工件直径为Ф500mm，主轴回转精度达到O．05μm，X轴和Z轴运动的直线度为0．1μm／100mm。其回转工作台的回转精度为0．05μm，X、Z坐标轴的最小移动控制量为1μm，工件表面粗糙度Ra≤15nm。机床控制的联动轴数为4轴。该机床结构设计采用直线电机对称双驱动结构的纳米级运动分辨率的溜板；具有直接驱动结构的空气静压回转工作台，高精度空气静压轴承整体结构电主轴，运动控制的精度高，可以控制纳米分辨率移动的部件，可以实现多种不同类型工件的高精度加工。机床适合光学平面、球面及非球面的加工。