超高灵敏度磁传感器

本文所述室温下工作的超高灵敏度磁敏感器件,是国外最近开发的超晶格霍尔元件。霍尔元件工作原理如图1所示。将半导体置于均匀磁场中,输入电流Iin,在垂直于电场和磁场的方向上会产生一霍尔电压V_H。以长L、宽W、厚t长方体-N型半导体元件为例: V_H=·K_HBIin =(W/L)μ_HBVin 式中,B—磁感应强度;μ_H—载流子(霍尔)迁移率;K_H—霍尔器件灵敏度。