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“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项进入全面实施阶段

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摘要 3月26日，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”推进会在科技部召开，科技部部长万纲、专项领导小组成员单位的领导出席会议。会议的召开标志着该重大专项已经进入全面实施阶段。

出处《新材料产业》 2009年第4期82-82,共1页 Advanced Materials Industry

关键词大规模集成电路成套工艺制造装备科技部成员单位

分类号 TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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新材料产业

2009年第4期

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