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滚珠丝杠在超精密定位中的应用 被引量:3

Applications of Ball Screw in Ultra-Precision Positioning
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摘要 通过分析滚珠丝杠驱动机构的特点,对目前利用这种驱动方式实现大行程的具有纳米分辨率的定位系统的关键技术进行论述。 Ballscrew driven mechanism is widely used in precision and ultra-precision machine tools.Base on understanding of characteristics of ballscrew,the positioning systems with ballscrew for long stroke positioning with nanometer resolution are reviewed.
出处 《航空精密制造技术》 2007年第1期21-23,16,共4页 Aviation Precision Manufacturing Technology
关键词 超精密定位 滚珠丝杠 纳米分辨率 ultra-precision positioning ball screw nanometer resolution
  • 相关文献

参考文献2

  • 1Lu L H,,Liang Y C,Tachikawa H,et al.Nanometerpositioning system based on ball screw[].Key Engineering Materials.2006
  • 2Lin Ting-Yung,,Pan Yih-Chieh,Hsieh Chen.Precision-limit positioning of direct drive systems with the existence offriction[].Control Engineering.2003

同被引文献16

引证文献3

二级引证文献11

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