摘要
TN252 2006065160在高阻硅村底上制备低微波损耗的共面波导=Low-mi- crowave loss coplanar waveguides fabricated on high-resis- tivity silicon substrate[刊,英]/杨华(中科院半导体所光电子研究发展中心．北京(100083)),朱洪亮…//半导体学报．—2006．27(1)．—1-4分别在普通的低阻硅衬底。
出处
《中国光学》
EI
CAS
2006年第6期41-41,共1页
Chinese Optics
