摘要
O484．1 2005042881 PLD法制备纳米类金刚石薄膜及衬底温度的影响=Syn- thesis of nanoscale diamond-like carbon films by PLD and the dependence of substrate temperature[刊,中]／欧阳钢 (湘潭大学材料与光电物理学院,湖南,湘潭(411105)),郭建…／／光电子·激光,-2004,15(12),-1456-1459,1463 利用脉冲激光沉积(PLD)技术在O2氛围下于α- Al2O3(0001)基片上制备出纳米类金刚石薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化情况。
出处
《中国光学》
CAS
2005年第4期63-65,共3页
Chinese Optics
