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薄膜光学制膜技术与装置

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摘要 TB43 2005053690 离子辅助沉积中离子束流密度的作用=Effect of ion cur- rent density in ion beam assisted deposition[刊,中]／张大伟(中科院上海光机所．上海(201800)),洪瑞金…

出处《中国光学》 CAS 2005年第5期66-67,共2页 Chinese Optics

关键词离子束流密度离子辅助沉积薄膜光学膜技术中科院不同条件晶体结构离子源折射率动量传递

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

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中国光学

2005年第5期

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