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薄膜光学理论与膜系设计
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摘要
设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(A12O:)/低折射率(MgF:)材料所组成。在低折射率材料中插人金属层(AD对膜系进行优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系。实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样AI层总厚度情况下。
出处
《中国光学》
CAS
2004年第4期63-67,共5页
Chinese Optics
关键词
纳米薄膜
介质多层膜
制备
多层膜光栅
类金刚石膜
光致发光
规整膜系
低折射率
退火温度
电子束蒸发
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
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中国光学
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