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光放大、控制与器件
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摘要
运用四极质谱计对微光成像器件的制管工艺质量进行大量质谱分析监测,分清了各道工序污染对制管的影响。通过对制管工艺进行改进,使制管成品率提高了50%。
出处
《中国光学》
CAS
2004年第4期73-73,共1页
Chinese Optics
关键词
半导体光放大器
四极质谱计
成像器件
波长转换
工艺质量
分析监测
制管工艺
成品率
动态增益特性
质谱分析
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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中国光学
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