集成光学光波导材料与制备

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摘要 TN252 2004053612 SIMOX大截面单模脊型光波导的研制=Fabrication of SIMOX single-mode rib waveguides with large cross-section[刊,中]/林志浪(中科院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海(200050)),程新利…

出处《中国光学》 CAS 2004年第5期54-54,共1页 Chinese Optics

关键词光波导材料制备大截面折射率分布信息技术研究集成光学离子束微系统平面光波导中科院

分类号 TN252 [电子电信—物理电子学]

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中国光学

2004年第5期

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