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薄膜光学 制膜技术与装置

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摘要 O484.1 2004053708 ZnO-SnO<sub>2</sub>透明导电膜的低温制备及性质=Preparation and properties of conducting transparent ZnO-SnO<sub>2</sub> films deposited at room temperature[刊,中]/黄树来(山东大学物理与微电子学院,山东,济南(250100)),马瑾…∥半导体学报,—2004,25(1)。—56-59 在室温下。
出处 《中国光学》 CAS 2004年第5期66-67,共2页 Chinese Optics
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