光谱分析、光谱测量

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摘要 O433.1 2004010074 射频辉光放电硅烷等离子体的光发射谱研究=Optical emission spectroscopy invesugation on the RF-generated SiH<sub>4</sub>plasma[刊,中]/杨恢东（南开大学光电所,天津（300071））,吴春亚…∥光电子·激光.—2003,14（4）—375-379 通过对RF-PECVD技术沉积氢化非晶/微晶硅（a-Si:H/μc-Si:H）薄膜沉积过程中硅烷（SiH<sub>4</sub>）等离子体的光发射谱（OES）原位测量。

出处《中国光学》 CAS 2004年第1期10-12,共3页 Chinese Optics

关键词硅烷等离子体光谱分析光发射谱薄膜毫米波喇曼光谱射频辉光放电光电子南开大学荧光光谱

分类号 O433 [机械工程—光学工程]

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