正在起飞的MEMS技术

过去的两年中,以微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)为基础的技术开始走出实验室,除了早期为航空、汽车工业生产的各种MEMS传感器,以及导管等其他可植入医疗器件外,已在其他一些领域找到商业应用,最著名的例子就是光学开关和DNA测序。其结果是引起了关注微观世界的新浪潮。 一些咨询部门估计。