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薄膜材料与器件

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摘要 TB43 2001064083纳米晶SnO<sub>2</sub>透明导电薄膜的研制=Study of nanocrystalline SnO<sub>2</sub> transparent conducting films[刊,中]/王占和,祝侃(北京理工大学电子工程系.北京(100081)),郝群(北京理工大学光电工程系.北京(100081))∥光学技术.—2001,27(1).—22—23,26阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景。介绍了采用磁控溅射技术。
出处 《中国光学》 EI CAS 2001年第6期52-52,共1页 Chinese Optics
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