薄膜光学理论与膜系设计

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摘要 O484.1 2001021171光学薄膜表面形貌的原子力显微镜观察=Observationof optical coatings by atomic force microscopes[刊,中]/马孜,吕百达(四川大学电子信息学院.四川,成都(610064)),肖琦,代军(西南技术物理所.四川,成都(610041))//电子显微学报.—2000,19(5).-704-708采用原子显微镜对常见的氧化物单层膜、增透膜和高反射膜的表面形貌进行了观测,并初步研究了激光预处理对薄膜表面形貌的影响。图8表1参12(李瑞琴)

出处《中国光学》 EI CAS 2001年第2期63-65,共3页 Chinese Optics

关键词表面形貌氮化硅薄膜光学薄膜四川光致发光激光预处理电子显微学报原子显微镜高反射膜成都

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

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