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非光学量测试与设备
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摘要
TB92 2001021355光栅投影轮廓测量的系统标定技术=System calibrationtechnique of profilometry by projectedgrating[刊,中]/许庆红,钟约先,由志福(清华大学机械工程系.北京(100084))//光学技术.—2000,26(2).-126 -129,133分析了系统在标定中精度不高。
出处
《中国光学》
EI
CAS
2001年第2期90-93,共4页
Chinese Optics
关键词
光学技术
清华大学
技术研究
纳米
连续相位扫描
国家重点实验室
激光技术
半导体激光器
相位去包裹
光学量
分类号
TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]
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