摘要
TN761.92 2001010500声光调制器在激光直写系统光功率控制技术中的应用=Application of acoustooptic devices totechnique of laser power control for laser directwritting systems[刊,中]/沈亦兵,李培勇(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室.浙江,杭州(310027))∥浙江大学学报.工学版.-2000,34(3).-282-286介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器。
出处
《中国光学》
EI
CAS
2001年第1期75-75,共1页
Chinese Optics
