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氦质谱检漏仪的误差分析 被引量：3

Analysis of Uncertainty for Leak detection of Helium mass spectrometer
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摘要 本文通过对氦质谱检漏仪产生误差的各种因素进行综合分析，运用误差理论，最后计算出合成误差． The article has analysed all factors that cause uncertainty of leak detection of Helium mass spectrometer and applied error theory to calculate total uncertainty of leak rate.
作者 裘国红 杜水友
机构地区 中国计量学院计测工程系
出处 《中国计量学院学报》 1999年第1期39-43,共5页 Journal of China Jiliang University
关键词 氦质谱检漏仪 误差 Leak detection of Helium mass spectrometer, Uncertainty
分类号 TB774 [一般工业技术—真空技术]
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二级引证文献5

中国计量学院学报
1999年 第1期

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