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扫描电镜及UPS故障检修二例

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摘要１扫描电镜故障现象一台Ｓ－２５００型扫描电镜，正常工作约半小时后，真空指示表降到１０－３乇，低真空指示灯亮，并发出报警器声。２分析和检修造成扫描电镜真空下降的原因一般有：循环水系统故障；仪器上各种阀门或Ｏ型密封圈问题；机械泵、扩散泵故障以及抽气管道漏...

作者王志坚楼寿松

机构地区浙江省公安厅刑警总队

出处《浙江大学学报（农业与生命科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1998年第S1期56-56,共1页 Journal of Zhejiang University:Agriculture and Life Sciences

关键词扫描电镜 UPS故障扩散泵循环水系统整流管大功率可控整流电路故障现象无穷大逆变器

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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浙江大学学报（农业与生命科学版）

1998年第S1期

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