微细立体光刻技术

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摘要本文介绍了微细立体光刻技术的工作原理、基本加工方法和重要意义,并对此技术进行了初步的实践.

作者任泰安王国保

机构地区河南机电高专机械工程系河南煤田地质三队

出处《河南机电高等专科学校学报》 CAS 1998年第1期29-30,26,共3页 Journal of Henan Mechanical and Electrical Engineering College

关键词微细立体光刻

参考文献2

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河南机电高等专科学校学报

1998年第1期

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