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热处理引起Al_2O_3上Au/NiCr薄膜表面状态变化的SEM/SAM研究

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摘要本文以直流磁控溅射法制备的Au/Nicr薄膜为研究对象,采用扫描电镜(SEM)和扫描俄歇探针(SAM)分析了真空和大气环境下350℃20min热处理后,Au膜表面结构及化学组份的变化。

作者庞焕民

机构地区哈尔滨市职工大学

出处《职大学报》 1998年第4期42-43,共2页 Journal of the Staff and Worker’s University

关键词金膜 SEM分析 SAM分析

分类号 TG156 [金属学及工艺—热处理]

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职大学报

1998年第4期

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