光学元件测试及设备

TG839 97042677表面形变精密测试方法的研究=Study of precisionmeasurement of surface deformation[刊,中]/杨永正(西北工业大学应用物理系.陕西,西安(710072)),杨军(西安达力仪表研究所.陕西,西安(710054))//激光杂志.—1996,17(4).—188-189在试样的表面制作出等间隔的平行线,作为反射式光栅,在激光束的照射下形成一列线阵分布的衍射光斑,并用线阵电荷耦合器件等组成的系统。