光衍射、仪器与器件

O436.1 97052875二元光学元件衍射效率的逐层分析法研究=Studyof diffraction efficiency of binary optical elementswith layer by layer analysis method[刊,中]/叶钧,许乔,侯西云,杨国光(浙江大学高技术现代光学中心,浙江,杭州(310027))∥光学学报.—1996,16(10).—1350—1355提出了一种有效的分析二元光学元件衍射效率的新方法—逐层分析法,并对四台阶二元器件,就蚀刻深度误差和横向对准误差对器件衍射效率的影响进行了分析和讨论,证明用该方法分析含有横向对准误差的二元光学元件的横向衍射效率非常简便有效。