超微细加工及设备

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摘要 TN305 97063966铜激光倍频光亚微米投影光刻系统的设计和实验研究=Submicron projeetion lithography with sec-ond-harmonic light of copper vapor laser[刊,中]/黄惠杰,,路敦武,杜龙龙,任虹,梁培辉(中科院上海光机研究所.上海(201800))∥光学学报.—1997。

出处《中国光学》 EI CAS 1997年第6期66-67,共2页 Chinese Optics

关键词铜激光倍频光实验研究中科院光刻系统研究所投影光刻物镜亚微米光刻超微细加工微光学元件学报

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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