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超微细加工及设备
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摘要
TN305 97063966铜激光倍频光亚微米投影光刻系统的设计和实验研究=Submicron projeetion lithography with sec-ond-harmonic light of copper vapor laser[刊,中]/黄惠杰,,路敦武,杜龙龙,任虹,梁培辉(中科院上海光机研究所.上海(201800))∥光学学报.—1997。
出处
《中国光学》
EI
CAS
1997年第6期66-67,共2页
Chinese Optics
关键词
铜激光倍频光
实验研究
中科院
光刻系统
研究所
投影光刻物镜
亚微米光刻
超微细加工
微光学元件
学报
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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中国光学
1997年 第6期
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