电子光学

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摘要 O463.2 97063987强流离子光学计算方法=A calculation method ofhigh current ion optics[刊,中]/戴习毛(电子工业部第48研究所.湖南,长沙(410111))∥微细加工技术.—1996,(4).

出处《中国光学》 EI CAS 1997年第6期69-69,共1页 Chinese Optics

关键词强流离子光学计算方法电子工业电子光学微细加工技术湖南计算机辅助设计长沙空间电荷效应成像光学

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中国光学

1997年第6期

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