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CS系列气体质量流量控制器/流量计被引量：1

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摘要北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器／流量计荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。

机构地区北京七星华创电子股份有限公司

出处《中国集成电路》 2009年第4期43-44,共2页 China lntegrated Circuit

关键词质量流量控制器 CS系列气体创新产品半导体流量计

分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械]

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中国集成电路

2009年第4期

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