吉化研制成功稀土异戊光刻原胶

为了配合我国研制大规模集成电路的需要,吉化公司研究院通过科技攻关,在“八五”期间建成了400t/a的半工业化装置,进行了光刻原胶的试生产。该院研制的中紫外负型光刻胶用原胶——液体锂胶通过了电子部和化工部组织的专家鉴定及验收。