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精密工作台重复精度的测量

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摘要论述了亚微米精度工作台动态重复精度测量的新原理及方法．其精度达±０．０２～±０．０８μｍ．

作者邵达友娄菁林马涛

机构地区清华大学

出处《航空精密制造技术》 1995年第4期33-35,共3页 Aviation Precision Manufacturing Technology

关键词精密工作台光电显微镜双频干涉仪

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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航空精密制造技术

1995年第4期

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