提高工效的超精密镜面磨削加工

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摘要提高工效的超精密镜面磨削加工日本理化学研究所与有关单位合作开发出应用电解在线修整法（ＥＬＩＤ）的超精密镜面磨削系统．它是对由化学气相沉积制成的非球面碳化硅反射镜同时进行表面粗糙度和形状加工，可使加工时间比用传统的研磨加工大大缩短．实验证实加工直径２０...

出处《航空精密制造技术》 1995年第4期38-38,共1页 Aviation Precision Manufacturing Technology

关键词镜面磨削加工超精密提高工效化学气相沉积非球面光学金刚石磨粒硅反射镜电解在线修整表面粗糙度精密加工

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航空精密制造技术

1995年第4期

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