KLA-Tencor推出光伏电池检测系统PVI-6

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摘要 KLA—Tencor Corp．（Milpitas，Calif．）日前宣布推出太阳能电池检测系统——PVI-6．对光伏硅片和电池进行在线双面光学检测。检测工艺贯穿于整个太阳能电池量产过程，从空白硅片到氮化硅（SiN）涂布、金属镀膜和最终的分类测试，而该设备则用于其中一部分检测。KLA—Tencor表示，PVI-6软件提升了整体太阳能电池量产工艺的成品率，并支持更精确的产品分选。

出处《光机电信息》 2009年第3期55-55,共1页 OME Information

关键词检测系统光伏电池 KLA 太阳能电池检测工艺光学检测金属镀膜氮化硅

分类号 TH166 [机械工程—机械制造及自动化] TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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