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超微细加工及设备

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摘要 TN305.7 95063981微型机械及相关理论和技术=Theory and technologyon mocromechanics[会,中]/宣明(中科院长春光机所)//吉林省光学学会青年学术讨论会.—吉林.长春,94.9微型机械是一门新兴学科,它的发展十分迅速,本文介绍了微型机械的研究现状。
出处 《中国光学》 EI CAS 1995年第6期52-52,共1页 Chinese Optics
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