磁控溅射阴极靶的故障与处理

对磁控溅射生产热反射镀膜玻璃过程中,关键部件阴极靶容易出现的阴极辉光放电的异常及靶材刻蚀区的偏移等问题进行了分析,并提出了具体的处理方法。指出在磁控溅射镀膜玻璃的生产中,对每个环节、每道工序、每个参数都必须给予高度的重视,严格遵守操作规程,才能保证产品的质量。