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表面活性剂在半导体工业中的应用初探被引量：2

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摘要介绍了合成洗涤剂在半导体清洗工艺中的作用、配方、使用方法以及硅PN结反向击穿电压试验的初步结果。一、前言随着石油化学工业的发展,合成洗涤剂的应用日益广泛,近年人们已经注意到它在半导体工业中的应用潜力。半导体工业的主要要求之一是超净。

作者陈子俊

机构地区潍坊精细化工厂

出处《精细石油化工》 CAS CSCD 1990年第6期37-38,74,共3页 Speciality Petrochemicals

关键词半导体工业反向击穿电压清洗工艺石油化学工业油酸皂金属杂质脂肪醇清洗过程金属夹具去污

分类号 TE65 [石油与天然气工程—油气加工工程]

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精细石油化工

1990年第6期

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