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高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨

Approach to the Etching Techniques of Standard High Precision Linear Inductosyn Masks Plate
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摘要 本文介绍了在适当改装后的长刻线机上,采用刀刻与光刻相配合的方法,制作高精度直线感应同步器母版的工艺过程,并讨论了影响母版精度的有关因素。 The technological process of making high precision linear inductosyn masks plate by means of the coordiation of tool-engraving and photo-engraving on a properly refitted long dividing machine has been introduced jn this paper. The relevant factors affecting the precision of the masks plate have also been dealt with.
出处 《长春理工大学学报(自然科学版)》 1990年第1期54-58,共5页 Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition)
关键词 光刻 感应同步器 母版 photo-engraving inductosyn masks plate
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