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新型电磁控大弧源多弧离子镀膜机正在研制中
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摘要
多弧离子镀膜技术是当前最先进的离子镀技术之一,它是利用冷场致发射电弧提供高密度金属离子流,是各种离子镀技术中金属离化卒最高的技术,有利于在高速钢刀县上沉积氮化钛超硬涂层。1985— 1986年我国引进的九台刀具离子镀设备中有七台是多弧离子镀设备。
机构地区
北京联大机械工程学院材料工程研究所
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
1990年第3期39-40,共2页
China Surface Engineering
关键词
多弧离子镀
场致发射
膜技术
氮化钛
超硬
离化
生产周期
沉积氮
材料工程
靶面
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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中国表面工程
1990年 第3期
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