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摘要我國第一台光化學氣相澱積設備光化學氣相澱積設備是八十年代才出现的新技術,主要功能是在超低温條件下(低於零下二百攝氏度)澱積二氧化硅、氮化硅等介質膜,並對半導體芯片不産生損傷。在湖南省新化無线電厂投入生産的我國第一台光化學氣相澱積設備,設計先進,結構新颖,操作安全,各項指標均達到了國際先進水平。該項設備是由西北科技大學和湖南新化無线電設備厂聯合研制成功的,现已正式投入生産。(劉瑞球)

出处《今日中国》 1989年第8期57-57,共1页 China Today

关键词湖南省新化湖南新化氮化硅八十年代操作安全盲教育典文古典名著小孽游韶

分类号 C [社会学]

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