传感器硅膜制备技术的研究

一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得,如,薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关,而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度的精确控制对器件性能的影响是十分重要的。