多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究

采用多晶硅桥结构作为集成传感器的敏感元件,容易制成用于测量流速、流向、温度和光强等的多功能传感器,此结构制造简单、设计灵活、兼容性强、性能优良,为解决传感器的集成化。