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透射电子显微镜与扫描电子显微镜一些故障分析及处理

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摘要透射电镜是以波长极短的电子束作照明源,用电磁透镜聚焦放大成像的一种具有高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。随着科学技术和生产实践的发展,十年来商品电镜型号繁多、高性能多用途透射电镜不断出现。从1977年以来我国从荷兰飞利浦公司引进了 EM 系列电镜,SEM

作者陈乃达

机构地区中国科学器材进出口总公司

出处《现代科学仪器》 1989年第4期42-43,共2页 Modern Scientific Instruments

关键词透射电子显微镜电磁透镜透射电镜荷兰飞利浦公司电子光学仪器高分辨率故障分析放大倍数振荡电路放大电路

分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械]

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现代科学仪器

1989年第4期

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