激光多普勒测速法用于扩散泵蒸汽流速测量的试验

MEASUREMENT OF VAPOUR FLOW SPEED IN DIFFUSION PUMP WITH LASER DOPPLER ANEMOMERY

一、引言真空扩散泵自1915年问世以来,经历了七十多年的发展史,对工业和科学技术的发展起了重要作用。如今,真空扩散泵的性能普遍得到了提高,能够应用于非常广泛的领域。然而,人们对于真空扩散泵的抽气机理尤其是蒸汽射流的流动状态缺乏深刻的了解。特别是,至今还未有一套对扩散泵蒸汽射流进行测量的直接手段。为了填补这一领域的空缺,我们试验了一种新的测量方法。