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日电ANELVA公司介绍

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摘要日电ANELVA公司的社名是由分析(ANALYSIS)、电子(ELECTRONICS)、真空(VACUUM)这三个独立的词意所组成,它标志着ANELVA公司不断开拓尖端领域的含义。日电ANELVA公司作为半导俸制造厂商,以超高真空为基础。

出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期280-280,共1页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

关键词尖端领域真空技术 ANELVA 制造厂商词意蒸发装置干法刻蚀制膜技术制造工厂半导体生产

分类号 TB7-55 [一般工业技术—真空技术]

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真空科学与技术学报

1989年第4期

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